Oxalumina Seramik Vantuz Plakası, hassas taşıma sistemleri alanında devrim niteliğinde bir üründür. ≥%99,9 saflığa sahip α-alümina seramikten (α-Al₂O₃) yapılmıştır ve optimum vakum dağılımını elde etmek için özel olarak tasarlanmış gözenekli bir yapıyla birleştirilmiştir. Geleneksel metal veya polimer vantuzlarla karşılaştırıldığında bu seramik çözüm, aşırı sıcaklıklara (1750°C sürekli çalışma) ve aşındırıcı ortamlara dayanabilmenin yanı sıra partikül kontaminasyonu riskini tamamen ortadan kaldırır. Eşsiz mikro yapısı (2-5μm tekdüze gözenek boyutu, 3,89g/cm³ yoğunluk) mikron altı düzlük (yüzey pürüzlülüğü Ra≤0,1μm) sağlar ve bu da onu ±0,1μm emme doğruluğu ile 300 mm yarı iletken levhaları işleyebilen tek profesyonel vantuzlu platform haline getirir.
1. Malzeme performansında çığır açan gelişme
Termal stabilite: 800°C termal şok döngülerinde deformasyon olmaz ve alaşım vantuzlardan (yüksek sıcaklık proses ortamı) 5 kat daha uzun servis ömrüne sahiptir.
Kimyasal direnç: %30 sülfürik asit daldırmanın 1 yıllık ağırlık kaybı 0,01 g'den azdır, akü elektrolit işlemi ve kimyasal buhar biriktirme işlemi için uygundur.
Yalıtım performansı: Arıza alanı kuvveti 40kV/mm'ye ulaşır ve plazma aşındırma odasında güvenli çalışmayı sağlar.
2. Mühendislik tasarımı yeniliği
Gözenek kontrolü: Jel enjeksiyonlu kalıplama işlemiyle %40 gözeneklilik elde edilir ve 1-3μm gözenek duvarı yapısı, ultra ince parçaların (≤50μm) adsorpsiyonu ve deformasyonunu önler.
Akıllı mimari: Dahili sıcaklık sensörü, -196°C'den ultra yüksek sıcaklıktaki ortamlara kadar gerçek zamanlı termal yönetimi destekler.
